據環球時報報道，美國正在向荷蘭施壓，讓ASML不再維護中國購買的光刻機，包括深紫外光曝光裝置，在美國施壓下，荷蘭政府很可能不會續發授權，撤銷這種維修支持，一些裝置恐怕到明年就無法使用。
據外媒報道，中國大陸積極發展芯片業讓美國擔憂，【日經新聞】稱，中國大陸芯片業實力持續進步，目前只差台積電3年水平。而美國出口管制的目標，是想讓中國大陸在芯片競賽中落後長達10年的時間。
問題來了，ASML將不再維修中國大陸DUV，中國自己能修好嗎？
我們知道，一台EUV光刻機精密零部件超過10萬多個，4萬個螺栓，4000多條路線，超過2公裏以上的軟管線。單次發貨需要動用40個貨櫃、20輛卡車以及3架波音飛機才能運完。
即便是DUV光刻機，也同樣涉及到非常復雜和精密的技術和工藝，需要足夠的專業人才和裝置來進行維修。10萬個零部件，光裝置與路線，就非常復雜，即便一件件組裝起來，難度都不小，更何況還要裝置串聯一體，賦予智慧操作。
因此， 真正大的故障，一定是生產廠商進行維修保障，光刻裝置是需要購置每年的原廠升級維保費用的。
而且光刻機很多精密部件在現場也是不可以拆卸的，所以不大可能透過光刻機裝置工程師造出光刻機裝置的。
在我們中國市場，ASML設立了一處維修中心，通常情況下，一般的光刻機裝置故障，首先會經過該處維修中心嘗試性的維修來解決。確定無法透過維修解決時，則會進行零部件的更換操作，以保障這些裝置盡快的恢復生產秩序。
光刻機維修在操作上並不難，難度其實關鍵還是在零部件上。只要能找到通用的零部件，往往自然就能自己修了。
在過去有業內人士認為，整機能堵住，零部件恐怕堵不住，只要使用的不是美國零部件，還是能找到替換品的。 一個例子是，俄羅斯，古巴等出現的萬國貨，軍用品用民用品替代等現象，主要是因為歐美對兩國的全面禁運造成的。
但其實光刻機的維修就難在零部件的更換上。
從部件構成上看，光刻機主要部件包含測量台與曝光台、雷射器、光束矯正器、能量控制器等11個模組，這些模組必須協同工作，以確保光刻機的高效和精準。
如果是一些普通通用的零部件倒還好，怕就怕在核心的元器件壞掉了。比如有一些損耗品的元器件恰恰又是核心元器件，譬如光刻系統的鏡頭元件，主要是由德國蔡司提供的。
包括對應光刻機裝置的專用工件台、配套用於定位對準的雷射部件等，作為半導體裝置整合組裝大廠的ASML，非常依賴美國的零部件廠商供應對應型號。
此外，光刻機的極紫外線光源，光刻機所要求的體積小，功率高且穩定的光源，這點美國一直掌握著成熟技術，其他國家都是向其采購的。
而反射鏡面，只有用高精度和高光滑度的鏡片才能聚焦和校準光線，從而光線才能精確無誤的照射在矽片上來畫出微小圖案。目前能夠達到光刻機要求的鏡片標準的廠商也在德國。
另外像是芯片上用的復合材料，光刻膠，高純度化學品也多數都是日本專利。
而荷蘭本身制造光刻機90%以上的零配件都需要從多個國家進口，我們要找到通用零部件自己維修談何容易。
從目前情況來看，我們今年在大規模采購ASML光刻機，ASML的中國銷售占比從過去的30%左右漲到了49%。ASML在中國3個月賣了180億。
這背後，或也是預料到美國要從光刻機維修上卡脖子了，而新采購的光刻機能有更長的壽命，也在維修期限內，以時間換空間，舊的壞了，新的光刻機能頂上。
黎明前的黑暗來了
因此，我們依然不能樂觀，之所以還需要嚴重依賴ASML，在於國產裝置零部件還不能做到完全自主。
綜上來看， 我們維修光刻機的難點是在鏡頭元件、工作台以及反射鏡面、極紫外線光源等關鍵元器件上找不到可以完整替代的通用零部件。
因為如果在關鍵元器件上有完整可替代的元器件，制造光刻機就不再存在難點了，因為 自主生產制造光刻機與維修面臨的難題是一樣的，就是關鍵的元器件無法替代。
當然，如果ASML停止提供售後服務和提供零部件，那麽ASML就違法了合約，就需要承擔違約責任的，美國的施壓就讓ASML變成了夾心餅乾，如果全部回購，1000多億美元的二手貨堆放倉庫成了廢品，世界是有幾家公司能承受如此巨大的現金損失？
總的來說，維修這個困難是比較大的，這種極限施壓，是逼著中國自己加速把光刻機關鍵部件突破，此前，中微公司創始人、董事長兼CEO尹誌堯提到，「國內可提供裝置占積體電路生產線的15%-30%， 但中國有上百個裝置公司、20多個成熟公司正在拼命努力，幾乎涵蓋半導體十大類裝置，我們應該用5年、10年的時間，達到國際最先進水平，這是可以實作的。 」
前段時間ASML說保證可以遠端癱瘓光刻機，現在又說要在光刻機維修上卡脖子，目的就是延緩我們追趕的時間，而這2~3年應該是非常關鍵的，也是正處於黎明前的黑暗時期。辦法總比困難多，一勞永逸的解決辦法是自己有，現在就是在打一場時間的戰役，我們的自主研發可能還要跑的更快些才行。
作者：王新喜 TMT資深評論人 本文未經授權謝絕轉載
