金融界 2024 年 8 月 30 日訊息，天眼查知識產權資訊顯示，江蘇魯汶儀器股份有限公司取得一項名為「一種用於真空腔室的頂針升降裝置及等離子刻蝕系統「，授權公告號 CN113764247B，申請日期為 2020 年 6 月。
專利摘要顯示，本發明公開了一種用於真空腔室的頂針升降裝置及等離子刻蝕系統，包括多個頂針和一個頂針安裝座；頂針安裝座包括底板和多個限位塊；底板上開設有多個與頂針透過孔一一對應的盲孔；每個盲孔內嵌入安裝有若幹疊加放置的彈性圈；彈性圈的內徑小於頂針的直徑，且若幹彈性圈的下端面與盲孔底部相接，若幹彈性圈疊加後的高度不低於盲孔高度；多個限位塊可拆卸固定在底板上，且每個限位塊的下表面一一對應壓接一個盲孔內的若幹彈性圈的上端面；每個限位塊上設定有一個導向通孔；每個頂針穿過一個盲孔內的彈性圈及對應限位塊的導向通孔。本發明將頂針固定並精確導向對中，降低了頂針與頂針透過孔摩擦斷裂的可能性，防止壓差引起的飛針。
