導語
近日，由於MEMS和傳感器領域有諸多的研究專家參與其中，更發出一份MEMS專家技術交流紀要，其中提到了觸覺傳感器領域中傳感器的成本。
專家在交流中表示，MEMS這一方面的成本是在1-2元，而量產的話，成本會降低更多。
而觸覺傳感器當中，MEMS占據約在40%左右，而PDMS等聚合物材料技術所占據的市場份額約在60%。
觸覺傳感器在市場中有著廣闊的潛力，其不僅適用於醫療檢測，並且在智慧機器人等多方面都有著廣泛的套用。
在中國上海浦東新區也進行了專門的會議，此次會議結構討論了MEMS行業發展趨勢，以及目前MEMS領域所面臨的問題等方面的內容。
在會議上有著眾多國內外MEMS行業的企業家、資深工程師等相關專家參與其中，共同探討MEMS行業發展。
MEMS傳感器在觸覺傳感器中套用的趨勢。
MEMS在觸覺傳感器中的套用是較為廣泛的一種傳感器，其技術是透過懸浮的微機械結構的運動產生的微量電訊號，對外界環境中重要的物理性質進行探測和測量。
MEMS傳感器在觸覺傳感器中的套用趨勢是什麽?
目前MEMS技術在傳感器套用中主要體現在其微型化、整合化方面，而機械和電氣傳感器是其中套用廣泛的兩類傳感器。
在中國，精密微機械系統通常被稱為MEMS，而在電子領域，通常采用的技術是積體電路技術。
在美國，MEMS和奈米技術在一定程度上可以看成都是積體電路技術的一個延伸。
MEMS技術與傳統的積體電路技術在工藝上有著一些相似之處，兩者均采用半導體工藝進行制備，並且還會使用一些微加工技術進行加工。
但MEMS技術也有著其獨特的地方，與傳統的積體電路技術相比，MEMS技術幾乎涵蓋了厚膜、薄膜甚至薄微米等於奈米級別的薄膜技術。
這些薄膜技術是傳統工藝很難做到的，然而，在MEMS技術中卻很普遍。
這些薄膜技術對於MEMS的效能改進非常大。
而且在制備工藝上，尺寸更大的MEMS構件與尺寸較小的IC積體電路在工藝上差異較大。
近年來，隨著MEMS技術的不斷發展，越來越多的MEMS技術已經套用到人們的生活當中，包括在智慧型手機中的MEMS傳感器、低成本的MEMS慣性儀表、高效能MEMS慣性測量單元等。
而這些MEMS技術在傳感器中的套用是非常廣泛的。
在各種生活中，MEMS技術在傳感器中的套用主要體現在智慧機器人和車載智慧系統中。
而且隨著科技的不斷進步和發展，MEMS在人形機器人領域的套用已經廣泛起來。
而在未來的會議中，與會人員之間對於適應力的討論和傳感器的切換頻率等方面進行討論。
相信在未來不遠的將來，MEMS在人形機器人和車載智慧系統等領域將更加完善。
同時，人形機器人中還有著其他的傳感器，但其占總體成本的近50%。
根據相關專家的統計，在中國人形機器人中MIMU占總數的25%，而在MIMU上則有著MEMS傳感器，MAV平均也有這一傳感器，而在人型機器人手中的則是HR-OS1，這是美國公司在制造的一種型號，其中有幾個MEMS傳感器。
這些傳感器不僅具備檢測功能，同時還可以用於判斷動作的合理性。
但是目前只有30%的人型機器人搭載MEMS傳感器。
進一步挑戰MEMS傳感器的效能。
MEMS技術在人形機器人中的套用越來越廣泛，其對傳感器也有著更高的要求，而對於傳感器來說微型化是其主要的發展趨勢。
MEMS傳感器的開發和研究已經成為一項重要的發展方向，於是眾多企業和科研機構都對傳感器的研究投入了大量的資金，希望開發出更高效能的產品。
在之前，MEMS傳感器在傳感器中的占比主要是在人體運動的監測領域。
而在震動傳感器中，MEMS傳感器在市場中的占比也是非常高的，其占所有傳感器的90%，而在IMU領域，MEMS傳感器同樣占據了90%的市場份額。
而在智慧型手機中，MEMS傳感器的占比也是在60-70%。
MEMS在傳感器上的套用是非常廣泛的，而在其套用上，MEMS傳感器其在其微型化、整合化方面均有著優勢，且其微機械運動所產生的微量電訊號對外界環境中物理性質的探測和測量上有著很強的效能。
目前MEMS在傳感器的涉及面正在不斷的增加，MEMS技術的套用還在不斷擴大，未來在該領域中將會有著更多的套用，並且在未來的套用中，其效能要求更高，難度也會更大。
MEMS在傳感器中的發展趨勢是微型化、多功能化、高精度化等方面。
MEMS傳感器在按照業內公認的標準進行量產的情況下，其成本控制在1-2元，而量產後可能更低。
在目前的套用中，對於MEMS傳感器的要求主要是其精度、重復性、使用壽命等指標。
隨著相關領域的不斷發展，對MEMS傳感器的效能要求也是越來越高，如何進一步挑戰MEMS傳感器的效能就成為行業的共同問題。
MEMS傳感器中主要有兩大問題，其一是該傳感器在運動慣性導航領域方面的需求較為迫切。
其二是MIMS這一傳感器，需要對其效能指標進行精密的控制。
行業內認為，如何進一步挑戰微機械系統中芯片端的精度、穩定性、壽命等效能，是目前MEMS領域企業與科研機構共同面對的挑戰。
MEMS傳感器在人形機器人中的套用在近年來逐漸增多。
這種趨勢主要是由於人形機器人在軍事領域、醫療領域和相關科學研究等領域的需求增大，同時在工業生產和服務機器人等方面也得到了套用。
人形機器人被廣泛套用，而MEMS傳感器則承擔著重要的作用。
MEMS傳感器在人形機器人中的套用主要是對人形機器人進行檢測和控制。
在目前的MEMS傳感器方面，主要遇到的挑戰還是在於高精度、低成本和高可靠性三者之間的權衡。
隨著MEMS制造工藝的不斷進步，MEMS傳感器的制造和套用正在變得越來越普遍。
雖然MEMS傳感器的研究和開發已經在不斷進步，但是尚未完全解決。
MEMS傳感器在人形機器人中的套用較為廣泛，但也存在挑戰和問題需要解決。
在MEMS傳感器的套用方面，中國與國際市場相比，還是有一定差距的。
主要體現在品質、效能和可靠性方面。
而在MEMS傳感器的套用上，中國企業可以透過提高技術水平胡設計能力，來解決當前的問題，逐步提升技術水平胡產品競爭力。
MEMS傳感器的成本分析。
MEMS傳感器在市場中的占比和套用都是非常廣泛的，MEMS傳感器的成本構成主要是來自於其制造工藝和核心彈性體。
而半導體技術的工藝成本較高，然而，材料成本相對較低。
並且從目前來看，半導體技術所占據的80%的成本主要是來自於制造工藝成本，然而，制造工藝成本又主要是來自於核心彈性體的制造，其在MEMS傳感器中的運用越來越廣泛，其成本構成也就越來越明顯，根據專家的統計，核心彈性體的制造工藝成本所占據的比例在40%-50%。
半導體技術的工藝成本所占據的比例在30%-35%，而在半導體技術中除了制造工藝外，其還有其他的一些成本，主要為芯片的封裝、測試和其他一些成本，還有晶圓制造的成本。
而材料所占據的比例大致在20%-30%。
雖然在成本上面，MEMS傳感器所占的最大比重是核心彈性體，但是在其後緊隨其後的半導體技術也是其比重的1/3，因此半導體技術在MEMS傳感器中也是非常重要的一塊。
在MEMS傳感器中有著很多種半導體材料，其種類也在不斷增加。
同時半導體材料的使用也隨著市場的發展在不斷變化和升級。
隨著MEMS傳感器的不斷發展和升級，其在傳感器市場中的套用也越來越廣泛。
在MEMS傳感器市場中，半導體材料和晶圓制造的成本都是不斷變化的，隨著市場的發展，其價格也在不斷變化。
但是無論如何，半導體的價格要遠遠超過其他的材料價格，其在MEMS傳感器成本中所占據的比例也是較為顯著的。
其中較為關鍵的一部份主要是浸鑄和電鍍。
其所占據的比例在25%-30%，這個工藝框架的價格並不低，但是其在傳感器的成本中所占據的比例也是很顯著的。
而目前，MEMS傳感器的套用越來越廣泛，對其效能的要求也越來越高。
然而，MEMS傳感器還存在一些問題，需要盡快解決。
其中較為關鍵的問題是溫漂問題，一方面是由於其半導體特性導致的，另一方面則是由於其芯片的脆弱性所導致的。
對於這兩大問題，其解決辦法有溫度補償和改進芯片結構等方面。
結語
目前MEMS傳感器在人形機器人中的套用是一種比較好的選擇，然而人性機器人的承載能力有所限制，因此在今後的套用當中，還需要進一步的研究和最佳化，以適應更復雜的場景。
MEMS傳感器作為人形機器人的核心器件，在國際市場中得到了廣泛的套用，在國內也已經具備了一定的市場份額。
MEMS傳感器的研究和生產將會成為一項重要的工作。
對於MEMS技術的相關改進和研究，都將會推動MEMS行業的發展，同時中國在MEMS相關技術的研究和套用上，也需要加快步伐，保持與國際市場的同步，同時與國外企業加強合作，共同推動MEMS行業的發展。
