金融界2024年7月23日訊息，天眼查智慧財產權資訊顯示，深圳市曼恩斯特科技股份有限公司取得一項名為「真空腔「，授權公告號CN221403668U，申請日期為2023年11月。
專利摘要顯示，本實用新型涉及真空幹燥裝置技術領域，具體涉及一種真空腔，包括：上腔板、下腔板和導流罩；上腔板與下腔板相連並形成第一腔體，上腔板和/或下腔板上開設有抽氣孔；導流罩設於第一腔體內，且導流罩與下腔板相連並形成第二腔體，導流罩上開設有孔組，孔組包括多個導流孔，孔組內的導流孔沿預設方向面積增大或者減小；第一腔體與第二腔體之間透過孔組連通。在抽真空過程中，導流罩上導流孔的大小沿預設方向增大或者減小，使各導流孔處瓦斯流速不同，透過對抽氣孔的位置以及導流孔的排布方式進行設定，能夠使待幹燥工件表面的瓦斯流速均勻。相較於現有技術，能夠避免基板的表面結晶不均勻，產生波紋狀現象的發生。
