記者8日從復旦大學獲悉，該校高分子科學系、聚合物分子工程國家重點實驗室魏大程研究員帶領團隊設計出一種功能型光刻膠，利用光刻技術在全片幅尺寸芯片上整合了2700萬個有機晶體管並實作了互連，整合度達到特大規模水平。該成果發表於最新一期【自然·奈米技術】上。
這款功能型光刻膠可透過添加感應受體實作不同的傳感功能。為了實作高靈敏光電探測功能，團隊在光刻膠材料中負載了具有光伏效應的核殼結構奈米粒子。光照下，奈米光伏粒子產生光生載流子，電子被內核捕獲，產生原位光柵調控，大幅提升了器件的響應度。光刻制造的有機晶體管互連陣列包含4500×6000個像素，整合密度達到3.1×106單元/平方厘米，即在全片幅尺寸芯片上整合了2700萬個器件。其光響應度達到6.8×106安培/瓦特，高密度陣列可以轉移到柔性襯底上，實作了仿生視網膜套用。
目前，團隊還研發出具有化學傳感功能、生物電傳感功能的光刻膠。該研究提出了一種功能型光刻膠的結構設計策略，將有望促進高整合有機芯片領域的發展。經過多年的技術累積，團隊制備的有機芯片在整合度方面已達到國際領先水平。該技術與商業微電子制造流程高度相容，具有很好的套用前景。
「我們正在積極尋求產業化合作，希望能夠盡快實作套用轉化。未來，這種材料能夠用於制造高整合度柔性芯片。另外，由於具有光刻相容性，其還有可能與矽基芯片整合，進一步拓展矽基芯片的套用。」魏大程說。
（李斯嘉 記者王春）
編輯：劉汶林
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