氣體純度表示通常有兩類。
對化學家來說，一般用99％、99.9％、99.99％、99.999％、99.9999％、99.99999％、99.999999％等純度表示。那麽其余1％、0.1％、0.01％、0.001％、0.0001%、0.00001%、0.000001％為雜質。
物理學家根據上述幾個「9」的說法采用簡便的方法，即n個「9」的說法。如上面的純度可以分別寫成2N、3N、4N、5N、6N、7N、8N。如寫成4N8或5N5，這時純度分別為99.998％和99.9995％；如果寫成5N85，則純度為99.99985％。
關於雜質含量有常量、微量和痕量表示，對於低於微量和痕量雜質一般指ppm～ppb級範圍。具體的雜質濃度是：lppm=10-4％; 1ppb=10-7％; 1ppt＝10-10％。
氣體中的雜質分類：氣體中的雜質按化學性質分類有氧化性質氣體(如氧、二氧化碳、水)、還原性質氣體(如氫、一氧化碳)和不活潑性氣體或惰性氣體(如氮、氬、氦)。如果雜質按形態分，雜質有氣態雜質(如氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氫)、液態氣體雜質(如水)和固態氣體雜質(如顆粒或塵埃)。
