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做高端矽基材料的先行者——聚焦智慧傳感器和半導體產業鏈系列報道之三

2024-03-20科學

中矽高科電子特氣精餾平台。 受訪者供圖

□本報記者 陳學樺 河南日報社全媒體記者 範坤鵬

高端矽基材料是積體電路發展的基石,矽基材料及器件的創新將決定未來積體電路及相關資訊科技的發展。

作為國內規模最大、門類最全的矽基電子材料供應商之一,洛陽中矽高科技有限公司(以下簡稱「中矽高科」)圍繞國家戰略需求進行關鍵核心技術攻關,目前已開發多種高端矽基材料新產品,成功套用於積體電路和光通訊企業,擁有自主智慧財產權的多項產品填補了國內空白,打破了國外壟斷,實作了國產化替代。

龍年伊始,千帆競渡。3月14日,記者走進位於洛陽市孟津區白鶴鎮的中矽高科新廠區,一片熱火朝天的生產景象,抓進度、搶開局、贏先機,企業以實際行動勾勒出新春的奮鬥圖景。

21世紀初,中矽高科建成了具有自主智慧財產權的多晶矽生產線,打破了國外壟斷,吸引了一批產業鏈上下遊企業在洛陽落戶、聚集,引領國內光伏產業的快速發展。「十三五」以來,中矽高科以「退城入園」為契機,深耕基礎研究,從技術上突破、裝備上升級、產品上叠代,積體電路用電子級多晶矽和矽基電子特氣、光通訊行業用高純四氯化矽等高端矽基材料相繼實作國產化。

在中矽高科廠區,當年的多晶矽材料制備技術領域唯一的國家工程實驗室,如今轉制成了矽基材料制備技術國家工程研究中心,為企業創新註入新動能。

中矽高科副董事長、黨委副書記、總經理萬燁表示:「我們一開始就把目標放在研究生產中國急需的關鍵材料上,不斷提高產品效能,降低產品價格,助推積體電路材料產業發展。」萬燁介紹,在研發方面,企業秉承著「關註一批、研發一批、突破一批」捲動發展思路,組建近20個研發團隊,每個團隊緊盯一個產品,因此公司每年叠代4到5種新產品,新廠區一期計畫已經投產10種產品,到今年5月,中矽高科的產品數量將達到20種,國產替代步伐不斷加快。

走進控制指揮中心,生產區人數、工作裝置台數、各區域風險等級、廠區月累計耗電量等數據在大螢幕上一目了然,各生產環節平穩有序。

「我們依托矽基材料技術優勢,大力推進生產智慧化轉型,構建數位化孿生工廠和智慧化數據資訊平台,已實作工廠三維視覺化,研發模擬、品質管理、環保管控、裝置智慧巡檢等智慧化管理。」中矽高科宣傳部付雷介紹,企業「工廠數位化設計」成功入選工信部等五部委公布的2023年度智慧制造優秀場景名單。

智慧化互動引擎賦能新型工業化。「實作積體電路領域矽基材料產品的國產替代是我們的使命,我們要在2025年前在產業方面實作30種產品的國產供應,並在實驗室實作基礎研究突破。」萬燁表示,中矽高科是河南省電子化學品產業鏈、洛陽市積體電路和智慧傳感器產業鏈鏈主單位,廠區二期施工已經開始,企業將加大科研投入力度,打造國家前瞻性基礎材料創新中心,致力於成為世界一流高端基礎材料發展商,引領河南積體電路材料產業走向高端。