金融界2024年1月12日訊息，據國家智慧財產權局公告，內蒙古興洋科技股份有限公司申請一項名為「一種電子級矽烷生產中線上脫除含鹵素化合物雜質的系統和方法「，公開號CN117379814A，申請日期為2023年10月。
專利摘要顯示，本發明公開了一種電子級矽烷生產中線上脫除含鹵素化合物雜質的系統和方法，屬於高純制備電子級矽烷技術領域，該系統的粗鎦塔、脫輕塔和脫重塔的頂部均設定有冷凝器；粗鎦塔的矽烷出口、輸送泵和脫輕塔的矽烷入口經管路依次連線，脫輕塔底部的矽烷出口與分子篩柱一底部經管路連線，分子篩柱一頂部與脫重塔的矽烷入口經管路連線；脫輕塔的頂部冷凝器出口與分子篩柱二底部經管路連線，分子篩柱二頂部與粗鎦塔上部入口經管路連線；粗鎦塔、脫輕塔和脫重塔的底部均連線有再沸器。本發明透過矽烷脫除含鹵素化合物雜質保證產品品質達到6N以上，同時吸附後瓦斯可以直接回收，減少後工序處理工藝，降低生產消耗提高產量。
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