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「IC風雲榜候選企業25」維普半導體:半導體掩模缺陷檢測器材持續升級 加速國產替代行程

2024-10-25科技

【編者按】自2020年舉辦以來,IC風雲榜已成為半導體行業的年度盛事。今年新增12項獎項,共設39項大獎,進一步關註半導體投資與結束、科技前沿領域貢獻、專案創新以及技術「出海」與拓展。評委會由超過100家半導體投資聯盟會員單位及500+行業CEO組成。獲獎名單將於2025半導體投資年會暨IC風雲榜頒獎典禮上揭曉。

【候選企業】常州維普半導體器材有限公司(以下簡稱:維普半導體)

【候選獎項】年度最佳解決方案獎

今年,中國大陸擴產及AI的持續高增需求,帶動全球半導體器材市場持續增長。據SEMI預計,2024年全球半導體器材市場規模將同比增長3.4%,達到1090億美元,其中中國占比32%,其中,晶圓加工、晶圓廠設施和掩模/掩模版器材在內的晶圓廠器材領域銷售額將達到980億美元,預計2025年全球半導體器材市場規模仍持續提升。

然而,在半導體光掩模檢測器材領域,由於Mask 缺陷檢測器材用量小(相對於Wafer檢測器材)、技術門檻高等原因,長期以來被美國KLA、套用材料、日本Lasertec等公司壟斷。在國內光掩模檢測器材領域,尤其是高端掩模圖形檢測器材,一直存在較大缺口。

值得慶幸的是,以維普半導體為代表的國產半導體器材廠商,透過8年的持續研發與市場布局,堅持十年磨一劍,逐漸打破國外企業的壟斷,作為國內掩模檢測器材領隊企業,實作了進口廠商某一代器材的批次替代。

圖1 維普半導體研發大樓

據悉,維普半導體是專業從事半導體光學缺陷檢測器材的企業。其子公司江蘇維普光電成立於2016年,是國內首家從事半導體光掩模檢測器材企業,其產品包括IC掩模缺陷檢測器材、大尺寸掩模缺陷檢測器材、晶圓缺陷檢測器材3大領域5大類產品。其中,半導體掩模檢測STORM 系列產品,累計銷售超40多套,目前產品可滿足180/130nm制程要求,全面覆蓋國內主流Mask shop客戶及業界頭部客戶。

經過數年的不斷升級改進,維普半導體從STORM 1000、STORM 2000逐漸升級為批次出貨的STORM 3000產品,STORM 3000 是維普第三代IC Mask缺陷檢測產品,已取得業界頭部客戶的評估認可。STORM 3000基於先進的激光成像技術與高靈敏度的軟件演算法,可具備DB、DD、SL等檢測模式,適用於Mask Shop、FAB對光罩生產過程、出貨及定期檢測的需求。

圖2 維普STORM 3000產品外觀

目前,STORM 系列產品主要客戶包括:中芯國際(上海)、迪思微、中微掩模、清溢光電、路維光電、龍圖光罩, 睿晶半導體等國內客戶;2024年進一步突破美日豐創、凸版(TOPPAN)等業界頭部客戶。STORM產品的穩定表現,獲得端終客戶青睞與連續復購,經過與友商器材大量的對比測試,STORM 3000產品具備替代K公司3代、4代產品的能力。

基於多個技術創新的設計思路,STORM 3000在光學成像及缺陷計算方面有較大優勢,基於GPU的分布式架構下,維普STORM 3000具備更高的效能。在同等精度下,產能是友商的2~3倍。同等的器材占地,提供了更高的產能,進一步降低了客戶的營運成本。

未來,隨著人工智能、大數據等技術的融合與發展,半導體掩模檢測器材向更高精度、更小的線寬、更高效率方向演進,維普半導體將加快新一代針針對90、65nm制程的檢測器材研發。繼續推動技術和產品升級,力爭成為半導體檢測器材領域一流企業,助力國產半導體行業進一步突破。

【獎項申報入口】

2025半導體投資年會暨IC風雲榜頒獎典禮將於2024年12月舉辦,獎項申報已啟動,目前征集與候選企業/機構報道正在進行,歡迎報名參與,共赴行業盛宴!

【年度最佳解決方案獎】

‘年度最佳解決方案獎’是專為那些能夠為行業提供高品質、創新性解決方案,且其產品已獲得行業客戶廣泛認可和好評的企業而設立的。作為企業的‘明星方案產品’,透過‘IC風雲榜-年度最佳解決方案獎’的評選加持,更將進一步提升了其在市場上的知名度,並在技術層面加強了市場對它們的青睞與認可。

【報名條件】

1、提供申報【方案】的市場情況及市場反饋,需要行業大客戶采購或行業多客戶采購清單,客戶名稱可以是代號形式;

2、企業的產品得到市場驗證,至少有1款產品已經實作大規模套用。

【評選標準】

1、評委會由「半導體投資聯盟」超100家會員單位及數百位半導體行業CEO共同組成;

2、每位評委限投5票,最終按企業得票數量評選出「年度最佳解決方案獎」。