中矽高科電子特氣精餾平台。 受訪者供圖
□本報記者 陳學樺 河南日報社全媒體記者 範坤鵬
高端矽基材料是集成電路發展的基石，矽基材料及器件的創新將決定未來集成電路及相關資訊科技的發展。
作為國內規模最大、門類最全的矽基電子材料供應商之一，洛陽中矽高科技有限公司（以下簡稱「中矽高科」）圍繞國家戰略需求進行關鍵核心技術攻關，目前已開發多種高端矽基材料新產品，成功套用於集成電路和光通訊企業，擁有自主知識產權的多項產品填補了國內空白，打破了國外壟斷，實作了國產化替代。
龍年伊始，千帆競渡。3月14日，記者走進位於洛陽市孟津區白鶴鎮的中矽高科新廠區，一片熱火朝天的生產景象，抓進度、搶開局、贏先機，企業以實際行動勾勒出新春的奮鬥圖景。
21世紀初，中矽高科建成了具有自主知識產權的多晶矽生產線，打破了國外壟斷，吸引了一批產業鏈上下遊企業在洛陽落戶、聚集，引領國內光伏產業的快速發展。「十三五」以來，中矽高科以「退城入園」為契機，深耕基礎研究，從技術上突破、裝備上升級、產品上叠代，集成電路用電子級多晶矽和矽基電子特氣、光通訊行業用高純四氯化矽等高端矽基材料相繼實作國產化。
在中矽高科廠區，當年的多晶矽材料制備技術領域唯一的國家工程實驗室，如今轉制成了矽基材料制備技術國家工程研究中心，為企業創新註入新動能。
中矽高科副董事長、黨委副書記、總經理萬燁表示：「我們一開始就把目標放在研究生產中國急需的關鍵材料上，不斷提高產品效能，降低產品價格，助推集成電路材料產業發展。」萬燁介紹，在研發方面，企業秉承著「關註一批、研發一批、突破一批」捲動發展思路，組建近20個研發團隊，每個團隊緊盯一個產品，因此公司每年叠代4到5種新產品，新廠區一期專案已經投產10種產品，到今年5月，中矽高科的產品數量將達到20種，國產替代步伐不斷加快。
走進控制指揮中心，生產區人數、工作器材台數、各區域風險等級、廠區月累計耗電量等數據在大螢幕上一目了然，各生產環節平穩有序。
「我們依托矽基材料技術優勢，大力推進生產智慧化轉型，構建數碼化孿生工廠和智慧化數據資訊平台，已實作工廠三維視覺化，研發模擬、質素管理、環保管控、器材智能巡檢等智慧化管理。」中矽高科宣傳部付雷介紹，企業「工廠數碼化設計」成功入選工信部等五部委公布的2023年度智能制造優秀場景名單。
智能化互動引擎賦能新型工業化。「實作集成電路領域矽基材料產品的國產替代是我們的使命，我們要在2025年前在產業方面實作30種產品的國產供應，並在實驗室實作基礎研究突破。」萬燁表示，中矽高科是河南省電子化學品產業鏈、洛陽市集成電路和智能傳感器產業鏈鏈主單位，廠區二期施工已經開始，企業將加大科研投入力度，打造國家前瞻性基礎材料創新中心，致力於成為世界一流高端基礎材料發展商，引領河南集成電路材料產業走向高端。
