新材料投資：盤點44家國內光刻膠及上遊原材料企業，還能投嘛？

一、上市公司

1、上海新陽

涉及光刻膠產品： 包括 i線光刻膠、KrF光刻膠、ArF幹法、浸沒式光刻膠 以及稀釋劑、底部抗反射膜（BARC）等配套材料，主要用於邏輯、模擬和儲存芯片生產制造。

產業化進展： 光刻膠已具備量產能力，在超20家客戶端提供樣品進行測試驗證 。ArF光刻膠的研發進展比較順利，浸沒式光刻膠目前已有多款產品在國內多家晶圓制造企業開展測試驗證工作，部份型號產品已取得良好的測試結果及工藝視窗，技術指標與對標產品比較接近。23年 KrF光刻膠部份產品形成訂單，實作營業收入400余萬元 。

研發專案： 集成電路制造用I線、KrF、ArF高端光刻膠研發及產業化；193mm ArF幹法光刻膠

參與投資： 江蘇博硯電子 科技有限公司（2019年，投資5600萬）； 上海芯刻微材料 技術有限責任公司（100%控股子公司，193nm（ArF）幹法光刻膠）

新陽觀點： （1）光刻膠是國際上技術門檻最高的微電子化學品之一，在大規模集成電路的制造過程中，光刻和刻蝕技術是精細路線圖形加工中最重要的工藝，占芯片制造時間的40%-50%，光刻膠是光刻工藝得以實作選擇性刻蝕的關鍵材料。

（2）2022年全球半導體光刻膠市場規模達27.1億美元，預計 2023年全球半導體光刻膠市場規模達25.5億美元，較上年同期下降 5.9%，2015-2022 年復合增長率（CAGR）為 10.7%；2021年中國大陸半導體光刻膠市場規模達4.93 億美元，較上年同期增長 43.69%，遠超全球增速。

（3）隨著國內晶圓代工產能的不斷提升， 預計2025年中國半導體光刻膠市場規模有望達到100億元 。隨著制程縮減和儲存容量提升，光刻次數增加，單位面積光刻膠的金額也會越來越高。

（4） KrF光刻膠整體國產化率不足5%，ArF光刻膠整體國產化率不足1%。

財務情況： 23年營收12.1億，凈利潤1.86億。

2、彤程新材

國內領先的半導體光刻膠生產商、 國內深紫外KrF光刻膠唯一量產供應商 以及國內芯片生產大廠光刻膠原料本土供應商之一，子公司 北京科華在IC光刻膠方面是國內第一 ；公司擁有8000噸平板用光刻膠生產能力，是國內首家TFT-LCD Array光刻膠生產商， 國內最大的液晶正性光刻膠本土供應商 。

涉及光刻膠產品： 半導體光刻膠（KrF（248nm）、G/I線（含寬譜））、顯示面板光刻膠、液晶面板TFT-LCD array正膠酚醛樹脂、LED光刻膠酚醛樹脂量產、多個G/I線酚醛樹脂、部份KrF光刻膠樹脂。

（1）半導體光刻膠

G線光刻膠產品在國內占據較大市場份額，I線光刻膠產品已接近國際先進水平 ，公司半導體光刻膠產品種類涵蓋國內14nm以上大部份工藝需求；KrF產品在Poly、AA、Metal、TM/TV、Thick、 Implant、ContactHole等工藝市占率持續攀升。I線光刻膠和KrF光刻膠是國內8-12寸集成電路產線主要的本土供應商 。

（2）顯示面板光刻膠

IC用正型光阻

大尺寸TFT-LCD用正型光阻

具有優異的耐熱效能的光刻膠，其具有熱穩定性強、工藝視窗大等優點，且在Hard Bake條件下，Half-tone具有優異的均一性和Profile角度，適用於采用Hard Bake工藝的Array制程的所有層。

4-MASK系列光阻的特點在於具有範圍較大的half-tone工藝視窗，其具有half-tone3σ特性好，Hard Bake Skip條件下耐濕刻效能好的優點，適用於H/B Skip條件下采用4-MASK工藝的Array制程中的所有層。

小尺寸TFT-LCD用正型光阻

普通光阻，通用於5~10代線， 相容spin和slit工藝，其具有感光速度快、殘膜率高、耐濕刻效能好、工藝視窗大等優點，適用於TFT-LCD中Array制程的所有層。

技術特征：High Sensitivity；Good Dark Erosion；High process margin(S/B, Exp., Dev., etc.)；Good adhesion

套用領域：套用在手機，筆記本，車載，平板電腦等產品，適用於TN,IPS,ADS等顯示技術

AMOLED用正型光阻

分辨率可達到1.5μm，其具有感光速度快、分辨率高、Focus寬容度大等優點，適用於LTPS-LCD和OLED的所有層。

特征：High Sensitivity；High Resolution；High Focus Margin

套用領域：套用在柔性&硬性AMOLED手機等產品，適用於IPS,HADS等顯示技術

產業化情況： 2022年公司 半導體光刻膠業務實作營業收入17,652萬元，同比增長53.48% ；公司半導體用 G/I 線光刻膠產品較上年同期增長45.45%；KrF 光刻膠產品較上年同期增長321.85%。2023年 上半年半導體光刻膠實作銷售收入8258萬元 ，與上年同期基本持平，但得益於膠成熟產品的持續放量以及新產品的增加，KrF光刻膠依然保持著較快的增速達到52.56%。I線光刻膠方面，ICA光刻膠開始放量，增長率達到96.82%。截至2022年底公司共有 22家12寸客戶，20家8寸客戶 ，8/12寸客戶的營收貢獻率是公司半導體光刻膠業務營收貢獻的主力。

2022年 北旭電子全年實作銷售收入2.42億元，國內市占率約為19% ；2023年上半年，北旭電子實作銷售收入1.32億元，同比增長-3.5%；面板光刻膠產品銷量同比增長9.6%，國內市占率約為21.5%，位列國內本土第一大供應商。

電子類別樹脂： 面板光刻膠樹脂方面，完成 液晶面板TFT-LCD array正膠的酚醛樹脂、LED光刻膠酚醛樹脂量產 ，以及下遊光刻膠配方效能評價、並透過終端客戶認可，相關酚醛樹脂已經批次穩定生產。半導體光刻膠樹脂方面，多個G/I線酚醛樹脂及部份KrF光刻膠樹脂已經開發完成，目前在芯片廠商做認證。

產能情況： 百噸級環化橡膠系紫外負性光刻膠和千噸級負性光刻膠配套試劑生產線、G/I線正膠生產線（500噸/年）和正膠配套試劑生產線（1000 噸/年）、百噸級248nm光刻膠 。

擁有 6000噸平板用光刻膠生產能力 ，是國內首家TFT-LCDArray光刻膠生產商，國內最大的液晶正性光刻膠本土供應商。同時年產1.1萬噸半導體（年產300/400 噸ArF及KrF光刻膠量產產線）、平板顯示用光刻膠及2萬噸相關配套試劑專案，已進入專案收尾驗收階段，2023年二季度能完成全部建設，隨後進入試生產階段。

研發情況： 北京科華擁有 兩個mini FAB ，有分辨率達到 0.11um的ASML PAS5500/850掃描式曝光機、Nikon步進式曝光機、TEL ACT8塗膠顯影一體機和Hitachi S9220 CD SEM 等主流器材；擁有 多名光刻膠專家 ，具備很強的光刻膠原材料合成、配方及相關基礎評價能力；承擔了多項國家、北京市級光刻膠 重點研發及產業化專案 ；有完備的支持產品研發和出廠檢驗的分析和套用測試平台。

（1）半導體光刻膠： 2023年上半年，公司繼續加大在半導體光刻膠方面的研發投入，新增研發立項48項，包括 14個KrF光刻膠專案，26個I線光刻膠專案 ，8個新材料專案。新產品銷售收入占比達到半導體光刻膠業務收入總額的41.36%。在ArF光刻膠產品方面，公司已經完成ArF光刻膠部份型號的開發，首批ArF光刻膠的各項出貨指標能對標國際光刻膠大廠產品，已具備量產能力

（2）顯示面板光刻膠： 公司在顯示面板光刻膠方面不斷增加研發投入，借助強大的研發創新能力，進行了多項產品的開發並逐步推向市場，2023年上半年，公司的一款4-Mask 高感度光刻膠產品不斷擴充套件新客戶和擴大量產銷售，滿足Array工藝所有Layer適用，突破了原有產品不能適用Halftone的瓶頸，目前該新品出貨持續增加中，有效的解決了目前北旭膠的技術短板，提高了客戶端器材生產柔性，對客戶產能提升有積極作用。

另外,針對AMOLED面板客戶，公司開發的高效能的高分辨率光刻膠:分辨率達到line1.5μm、hole2.0μm，目前已在客戶完成階段性批次驗證，驗證各項效能不僅可完全匹配現有競爭社產品，同時還能有效規避現有競爭社產品部份良率問題，有望陸續量產。

同時，有機膜產品、高耐熱光刻膠、低溫光刻膠也在研發和客戶測試中，預計陸續量產銷售。透過一系列科研技術專案的研發，有效增強了公司的技術儲備，確保了公司在國內光刻膠行業的技術領先地位。隨著新產品在客戶端優勢的逐步體現，公司會依托新產品進一步拓展市場,快速提升市占率。

（3）光刻膠用樹脂： 公司具有光刻膠酚醛樹脂研發、中試、量產、配方評價等一整套開發和量產體系，在已有多年工作基礎上繼續加大產品開發力度，23年上半年液晶面板 Array half-tone光刻膠酚醛樹脂量產成功 ，透過光刻膠效能評價和終端客戶認可； 高分辨率光刻膠酚醛樹脂 進入量產產品已經在液晶面板產線測試； OLED光刻膠酚醛樹脂 進入開發階段； 多個G/I線酚醛樹脂 處於中試/大試階段； 先進I線光刻膠酚醛樹脂、lift off負膠酚醛樹脂 研發取得階段性進展。

KrF光刻膠用PHS樹脂 是集團研發重點方向之一，已經完成多個PHS在放大裝置上執行。其中通用型KrF光刻膠主體樹脂透過配方驗證，相應的通用型KrF光刻膠正在Fab廠驗證階段，取得良好驗證結果。開發和放大高分辨型KrF光刻膠主體樹脂，相應的高分辨型KrF光刻膠正在下遊Fab廠小批次驗證。新采購的樹脂生產裝置器材已經到位，正在安裝偵錯中，預計在今年第三季度進行試生產。

為了支持公司在電子化學品業務方面發展及新光刻膠品種開發，已建立 丙烯酸樹脂開發團隊 。目前公司研發涵蓋 酚醛樹脂、PHS樹脂、丙烯酸樹脂 三大類光刻膠樹脂研發專案方向，從根本上解決光刻膠上遊產業鏈供應問題。

上海彤程電子金山工廠已部份建成11000噸/年的光刻膠生產線及20000噸/年的EBR線，並於報告期末進入試生產準備階段，產品涵蓋半導體光刻膠、面板正膠、面板彩膠、EBR等高端光刻膠及其配套產品。同時，公司建立顯示光刻膠研發團隊，以成熟的樹脂設計制造能力為依托，自主開發低溫彩色光刻膠、PSPI、黑色PSPI、有機絕緣膜等新型面板材料，產品面向LCD、OLED、Mini LED 等各類顯示技術。

合作夥伴： 中芯國際、上海華力微電子、長江儲存、華潤上華、杭州士蘭、吉林華微電子、三安光電、華燦光電、中芯京城、格科半導體、重慶萬國等；京東方、惠科、鹹陽彩虹等

投資情況： 北京科華 （控股70.5319%）、 北旭電子 （控股81.14%）

彤程觀點： （1）2022年全球光刻膠市場規模達26.4億美元，較上年增長6.82%。其中中國大陸市場依舊保持著全球最快的增速，達到5.93億美元，較上年增長20.47%。

（2）隨著中國大陸半導體產業發展，制造工藝技術節點也在不斷縮小，多家新的晶圓制造工廠相繼建成投產， KrF和ArF等先進光刻膠市場需求量將繼續增大 。

（3）從中國大陸光刻膠產品市場變化來看，隨著中國半導體產業的發展和制造工藝技術節點的不斷縮小， G/I線光刻膠增速放緩，KrF和ArF光刻膠市場需求量和增速加快 。

（4）電子材料除了要按照自身規律發展以外，為應對國外技術出口管制風險，多家中國半導體企業也增加了材料國產化率要求，增加國產半導體光刻膠進入量產產線進行測試驗證的機會。

（5）薄膜晶體管液晶顯視器（TFT-LCD）是液晶顯視器中最重要的一種,其產值和影響力在液晶顯視器家族中有著舉足輕重的地位。而中國是全球最大的TFT－LCD 生產國。作為重要的關鍵原材料，隨著中國在全球顯示行業發展中引領作用，中國的顯示用光刻膠市場必將持續增長。

（6）目前， 中國光刻膠產業鏈雛形初現，從上遊原材料、中遊成品制造到下遊套用均在逐步完善 ，且隨著下遊需求的逐漸擴大，光刻膠市場規模將顯著增長。

3、晶瑞電材

其子公司瑞紅蘇州成立於1993年，規模生產光刻膠30年，是國內光刻膠行業的領軍企業之一，是光刻膠國產化的重要力量。

涉及光刻膠產品： 半導體光刻膠、顯示面板光刻膠等，其中半導體光刻膠包括紫外寬譜光刻膠、g線光刻膠、i線光刻膠、KrF光刻膠等，顯示面板光刻膠包括輕觸式熒幕光刻膠、TFT-LCD光刻膠等，擁有數上百個型號產品。

（1）正性光刻膠

（2）負性光刻膠

產業化進展： i線光刻膠產品規模化向中芯國際、合肥長鑫、華虹半導體、晶合整合等國內知名半導體企業供貨；KrF 高端光刻膠部份品種已量產；ArF 高端光刻膠研發工作已啟動。建成了具有國際水平的高端光刻膠生產線和測試實驗平台，同時擁有紫外寬譜、g 線（436nm）、 i 線（365nm）、 KrF（248nm）、 ArF（193nm）全系列光刻機測試實驗平台。

研發情況： 2020年下半年購買了ASML1900 Gi型光刻機及配套器材，於2021 年下半年購入了尼康KrF S207光刻機及配套器材， 已建成ArF、 KrF光刻實驗室（擁有由 5 台光刻機） ；承擔了 國家「85」攻關、「863」重大專項、科技部創新基金 等科技專案、承擔並完成了 國家02 專項「i 線光刻膠產品開發及產業化」 專案。

在研專案包括： 適用於28nm工藝節點浸潤光刻的ArF光刻膠研發，基於實驗室合成樹脂及產酸劑已配置了ArF光刻膠樣本並進行了測試，可以實作80nm以下分辨能力；適用於250nm到130nm工藝節點KrF光刻膠研發，已建立多個可選配方，最佳化後的實用分辨率可以達到0.15um以下；適用於ArF光刻膠生產的成膜樹脂合成工藝研發，已合成多款樹脂，並配合產酸劑配置了樣品，測試可以實作80nm以下分辨能力；實用分辨率0.3um I line正性光刻膠研發，配方已經定型，實驗室效能測試已經完成，已開始向市場推出；單次塗布大於50um的超厚膜光刻膠研發；新型高深寬比KrF光刻膠研發。

客戶： 中芯國際、合肥長鑫、華虹半導體、晶合整合、三安光電、揚傑電子 等國內知名半導體企業。

營收： 2022年，公司 光刻膠實作營業收入1.4億元 （產量928噸，銷量915噸），較上年同期下降1.94%。2023年上半年公司光刻膠產品實作 營業收入6,942.09萬元 （毛利率52.72%），同比下降 8.73%，

晶瑞電材觀點： （1）2021 年中國大陸集成電路光刻膠市場達41.1億元，其中 g/i線光刻膠市場規模約8.79億元，ArF/KrF市場規模達32.31億元 。

（2） 2021年g/i線光刻膠國產化率約20%，KrF光刻膠國產化率不足2%，ArF/ ArFi光刻膠國產化率不足1% 。

4、南大光電

控股子公司寧波南大光電的光刻膠研發中心具備了研制功能單體、功能樹脂、光敏劑等光刻膠材料的能力，能夠實作從 光刻膠原材料到光刻膠產品及配套材料的全部自主化 。

涉及光刻膠產品： ArF 光刻膠（幹式及浸沒式）

產業化情況： 目前研發的產品已在下遊客戶 儲存芯片50nm和邏輯芯片55nm技術節點上透過認證 ，多款產品正在主要客戶處認證，持續推動光刻膠及配套材料產品的研發和產業化。

產能情況： 在寧波市北侖區完成了第一條光刻膠生產線建設，產能達到10噸/年的規模，第二條光刻膠生產線於2020年完成建設，總產能達到25噸/年。

研發情況： （1）承接國家 「02-專項」高分辨率光刻膠產品關鍵技術 的研究專案，並透過國家「02-專項」驗收；（2）承擔 193nm浸沒式光刻膠 產品開發和產業化專案；（3）購買 ASML 193nm浸沒式光刻機。

南大光電觀點： （1） 2020年ArF幹式和浸沒式光刻膠市場規模共計9億美元 占據了48%的市場份額，KrF和g線/i線光刻膠分別占據34%和16%的市場份額。

（2）預計至2025年ArF幹式及浸沒式光刻膠仍然能占據45%的市場份額，規模預計到 2025達到10.72億美元 ，2020-2025 復合增長率為3.5%。

（3）由於ArF浸沒式光刻膠主要用於先進制程中的多重曝光過程，因此 其需求量為普通光刻膠的24倍 。

（4）根據TECHCET數據，2020年全球ArF浸沒式光刻膠市場規模為7.1億美元， 2021年全球ArF浸沒式光刻膠市場規模為7.59億美元 ，同比增長6.3%， 2025年有望達8.84億美元 ，復合增長率達4.4%； ArF幹式光刻膠2020年全球市場規模1.9億美元 ，未來預計在此上下小幅波動。

5、鼎龍股份

2023年12月，鼎龍股份釋出建設年產300噸KrF/ArF光刻膠產業化專案。

目前，公司已開發出13款高端晶圓光刻膠產品，包括6款浸沒式ArF光刻膠和7款KrF光刻膠產品，並有5款光刻膠產品已在客戶端進行送樣，其中包括1款能夠達到ArF極限分辨率37.5nm的光刻膠產品和1款能達到KrF極限分辨率120nm L/S和130nm Hole的光刻膠。

同時，公司提前儲備多台光刻膠關鍵量產器材，其中包含多台浸沒式ArF光刻膠不可替代的量產器材。

6、萬華化學

電子材料有限公司作為萬華化學集團全資子公司，萬華化學集團電子材料有限公司依托集團公司整體產業鏈優勢，在IC半導體領域深耕研發，全力攻關 拋光材料、先進封裝材料、光刻膠 三大核心材料，致力於成為國際一流的電子材料供應商。

以客戶需求為導向，電子材料有限公司依托自主研發/專利布局、完善的生產管控、完整的供應鏈體系三大優勢特點，打造適用於IC半導體集成電路以及高端顯示領域的多種電子材料產品解決方案。

7、容大感光

成立於1996年，是一家專業生產高端感光電子化學材料的國家級高新技術企業，其中在濕膜光刻膠領域，國內企業的產品市場占有率較高，約占90%以上的份額，公司約占國內市場40%的份額；在阻焊油墨光刻膠領域，日本企業太陽油墨占據龍頭地位，市場占有率相對較高，約占國內市場50%的份額，公司約占國內市場15%左右的份額。

涉及光刻膠產品： PCB 光刻膠、顯示用光刻膠、半導體光刻膠及配套化學品，其中半導體光刻膠以g線、i線正性/負性光刻膠，i線光刻膠可以滿足0.35μm及以上線寬的光刻需求。

集成電路用光刻膠系列主要包括：RD-4000、RD-6000等系列

平板顯示用光刻膠系列主要包括：RD-PFR/PFS、RD-PTL500、RD-PTH800等系列，用於TN/STN-LCD的ITO電極制作、TP的ITO電極、Mo/Al/Mo Sensor制作、TFT-LCD/OLED的TFT背板制作等

研發情況： 采用「內生式培養和外延式引進」雙輪驅動模式，無ArF研發，未見KrF光刻膠研發

客戶情況： 顯示用光刻膠及半導體用光刻膠主要客戶有TCL華星、萊寶高科、三安光電、揚傑科技、華微電子等企業

財務情況： 2022年營收3.67億元，其中PCB光刻膠為3.36億元，毛利率為34.56%。2023年前三季度累計實作營業收入57,804.68萬元，其中，顯示用光刻膠及半導體用光刻膠銷售額占公司總銷售額的比例較小。

8、飛凱新材

公司是一家研究、生產及銷售高科技制造中使用材料和特種化學品的專業企業。自2002年成立以來，公司專註於材料行業的創新與突破，始終致力於為高科技制造提供優質材料，並努力實作新材料的自主可控。其中， i-line光刻膠和248nm光刻膠抗反射層材料 已實作部份客戶量產。

9、江蘇艾森半導體

艾森股份具有十多年高端電子化學品研發、制造和銷售的高新技術企業。公司為晶圓制造、半導體封裝、顯示面板等套用領域提供可持續發展的高端電子化學品。產品包括電鍍液、光刻膠以及相關配套試劑，其中光刻膠產品有 I/g-線的高厚度正性紫外光刻膠、紫外負性高厚度光刻膠、I-line光刻膠、以及Array制程用光刻膠 。

11、雅各科技

主要致力於電子半導體材料，深冷復合材料以及塑膠助劑材料研發和生產。公司自主研發的OLED用低溫RGB光刻膠、CMOS傳感器用RGB光刻膠、先進封裝RDL層用i-Line光刻膠等產品正按計劃在客戶端測試，客戶涵蓋包括京東方、華星光電、惠科等國內主要面板制造商。

12、萬潤股份： 光刻膠單體 業務正處於發展階段

13、久日新材： 光引發劑、單體 、齊聚物、紫外吸收劑、醫藥化工中間體等精細化學品。旗下全資子公司徐州大晶新材料主要為 KrF光刻膠樹脂和單體

14、強力新材： 光刻膠光引發劑

15、瑞聯新材： 主營為單體液晶、OLED材料、創新藥中間體，其中 光刻膠單體已供應給某南韓廠商

16、同益股份： 光刻膠基材 已進入國內光刻膠生產廠商及面板廠商持續測試中，目前有少量銷售

17、揚帆新材： 部份 光引發劑 產品下遊可套用於光刻膠

18、百川股份： PMA溶劑

19、怡達股份： 溶劑

20、江化微： 溶劑

二、非上市公司

21、徐州博康

成立於2010年3月,研發中心位於上海松江臨港科技園,中試基地位於上海金山，在江蘇邳州、浙江東陽有兩個生產基地。公司從原材料向上突破，發展成為國內唯一一家實作 「單體-樹脂、光酸-光刻膠」全產業鏈覆蓋的光刻膠供應商 ,並在保障國產光刻膠材料產業鏈安全、自主、可控方面取得實質性突破。

目前,徐州博康已成功開 發ArF/KrF單體及光刻膠、G線/I線光刻膠、電子束光刻膠系列產品近百款,客戶全面覆蓋國內70余家芯片制造商 。其中，ArF-immersion產品已經適用於28-45nm制程，可延伸至14nm。基於完整產業鏈獨特視角及產業化優勢,徐州博康可根據客戶需求客製研發,亦可圍繞客戶就近建設配膠中心,保持光刻材料供應的穩定、快速、可靠。

光刻膠產品：（1）半導體光刻膠： ArF-immersion（topcoat less）產品和ArF-dry產品 ，樹脂結構為甲基丙烯酸酯/丙烯酸酯系列體系，伴有金剛烷等功能單元； KrF膠，PHS樹脂體系，包括高活化能正膠、低活化能正膠以及負性膠等產品；I-Line光刻膠，PHS樹脂體系的化學放大膠，包括正膠和負膠兩大類產品，厚度範圍覆蓋0.3~20um；電子束光刻膠，PMMA、PHS、 P(MCA/MST)、 HSQ等不同體系的產品，包括正性和負性兩大類；封裝光刻膠 ，甲基丙烯酸酯共聚樹脂體系，系列膠樣套用厚度範圍覆蓋5-120um負性封裝光刻膠。

（2）光刻膠樹脂單體： KrF光刻膠樹脂單體（苯乙烯系列）；ArF光刻膠樹脂單體（丙烯酸酯系列） 。

產業化進展： 2022年以來在光刻膠相關的技術與工藝環節突破不斷，也得到了下遊客戶的認可，有多款高端光刻膠產品分別獲得了國內12寸晶圓廠的相關訂單，包括 ArF-immersion 產品及 ArF-dry， KrF， I-line 等。其中， ArF-immersion 產品已經適用於 28-45nm 制程。

（1）ArF光刻膠有 26 款產品，其中 ArF-immersion15 款， ArF-dry 11 款，可套用於 14-90nm 制程節點；有 9 款 ArF-immersion 及 ArF-dry 光刻膠正在客戶端進行產品驗證匯入量產 ，品種類涵蓋 55nm、 40nm、 28nm 及以下的 LOGIC 關鍵層工藝 以及3D NAND，DRAM 等套用領域。2022 年以來 形成銷售的 Arf 光刻膠有 5款 。

（2）KrF光刻膠有 30 款產品 ，其中，高分辨的 KrF 光刻膠，最小分辨率可達120nm CD，產品可套用於14nm-180nm制程中；KrF 中厚膠，主要為 L/S，針對 8-12寸抗刻蝕層；KrF厚膠，主要針對高深寬比及高台階覆蓋的套用；KrF 負膠，主要針對 IC 端和器件類特殊工藝套用； 有 20 余款 KrF 光刻膠正在客戶端進行產品驗證匯入量產 ，產品種類涵蓋 55nm、 40nm、28nm 及以下的關鍵層工藝以及記憶體、分立器件、傳感器等套用領域。2022年以來形成 銷售的 KrF 光刻膠有 15 款 。

（3）I 線光刻膠有 19 款產品 ，主要為化學放大型光刻膠，相對於傳統光刻膠，化學放大型光刻膠具有更高的分辨率、對比度和深寬比。 有 10 多款 I 線光刻膠正在客戶端進行產品驗證匯入量產 ，產品種類涵蓋高能註入、抗刻蝕等關鍵層工藝以及PAD、 lift-off 等套用領域。2022 年以來形成銷售的 I 線光刻膠有14 款。

（4）電子束光刻膠在銷售的有3大種類，包括 PMMA 體系、 PHS、HSQ 等，現已為數十家企業和高校提供標準化、客製化的電子束光刻膠產品。

作為國內少有能打通光刻膠上遊材料的全產業鏈公司，徐州博康的聚合與提純工藝也是其核心競爭力之一。2022 年以來，旗下的光刻材料體系不斷擴充，產品效能不斷最佳化：

（1） 光刻膠單體已經研發近70款 ，2022年以來新開發 20 款單體，其中包含13 款 ArF 光刻膠單體，2 款 KrF 光刻膠單體。

（2） 光刻膠樹脂已經研發 50 多款 ， 2022 年以來新開發 18 款樹脂，包括 7 款ArF 樹脂，6 款高端 KrF 樹脂。

（3） 光敏劑已經研發超過 150 款 ， 2022 年以來新開發 50 款光敏劑，其中 12款針對 ArF 光刻膠開發，10款針對高端 KrF 光刻膠開發。

財務情況： 22年營收25807.8萬元，虧損12716.54萬元；23年上半年營收8563.8萬元，虧損4,337.26萬元

目前估值： 上一輪投後估值70億

融資情況：

2023-04-19，戰略投資，6億元，中平資本、清楓資本、雲暉資本、國發創投、賽睿基金、國開科創、匯智集團、青島金玉渾璞

2022-09-22，戰略投資，金額未知，青島金玉渾璞、新鼎資本、瑞芯投資

2022-05-17，戰略投資，金額未知，新鼎資本、盛世投資、海南泊灝企業管理合夥企業（有限合夥）

2021-08-11，戰略投資，金額未知，哈伯投資

2021-01-12，戰略投資，金額未知，凱石資本

2021-01-04，戰略投資，3000萬元，華懋科技

2020-04-13，戰略投資，金額未知，金浦投資、博達股權

2016-08-05，戰略投資，金額未知，雛菊機構、星香雲、東吳創投

22、廈門恒坤新材料

成立於1996年，公司已發展成為一家致力於半導體先進材料研發、生產和銷售的集成電路企業，目前公司已擁有超高純前驅體、高端光刻膠2個生產基地，並設有多個技術服務中心。

主要產品： 光刻膠、前驅體、配方化學藥品、特殊氣體等。具體型號不詳

產業化進展： 已陸續取得國內外多家12英寸芯片制造企業的材料供應商資格，並實作批次供貨，是 目前國內給12寸晶圓廠供貨量最大的光刻膠廠商 。

合作夥伴： 英特爾、長江儲存、中芯國際、台積電 等

融資情況：

2023-01-04，Pre-IPO，金額未知，虢盛資本、中化資本、中電科、建信股權

2022-07-28，戰略投資，金額未知，廈門鎢業

2020-04-30，新三板定增，1.6689億元，方正和生、前海母基金、深創投

2019-12-19，新三板定增，1.7億元，前海母基金、深創投、方正和生

2017-06-28，股權轉讓，金額未知，勾陳資本

2015-10-21，新三板定增，1034萬元，廈門神劍投資

23、珠海基石

公司正式成立於2022年6月30日，隸屬於國資委重大產業投資。公司擁有世界領先的研發團隊，60%以上研發人員具有博士學歷；擁有世界一流高純化學品制造產線，為客戶提供高端、高品質、高安全的電子化學材料，產品廣泛套用於國內頂級制造企業和研究測試機構。

產品情況： 略

融資情況： 無

24、阜陽欣奕華

成立於2013年5月，是一家專業從事顯示光刻膠、半導體光刻膠、特種光刻膠、OLED材料和前沿材料研發、生產、銷售與服務的高新技術企業。

涉及光刻膠產品： KrF光刻膠、ArF光刻膠、先進封裝光刻膠 ；TFT-LCD用黑色光刻膠、TFT-LCD用彩色光刻膠；OLED顯示用低溫光刻膠、OLED顯示用PDL、量子點新型顯示用光刻膠、顯示和傳感器用熱回流膠

產業化進展：

（1）顯示光刻膠： 出貨量穩居中國大陸企業前列，彩色光刻膠年出貨量超過千噸；

（2）半導體光刻膠： 研發團隊由多名海外專家領軍，專註晶圓制造用 光刻膠配方、工藝、樹脂結構設計等核心技術及產品研發 。產品包括I-line 、KrF、ArF等高端半導體光刻膠，具有高分辨率、高感光度、耐刻蝕、DOF&EL寬工藝視窗等優異效能。

（3）特種光刻膠： 低溫光刻膠、量子點光刻膠、PDL、熱回流膠等特種光刻膠均實作技術突破與量產。

融資情況：

2023-11-02，D輪，5億元，中國建投、卓瑜資本、盛景嘉成、龍鼎投資、德潤基金

2023-11-02，戰略投資，金額未知，中金資本、哈伯投資、國開金融、火眼資本、輔仁投資、上哲至成投資、湖北科投、華安嘉業

2023-02-06，戰略投資，金額未知，京東方集團

2022-08-11，C輪，5億元，中金資本、國開金融、中建材新材料基金、湖北科投、齊芯投資、華安嘉業、安元基金、潁科

2018-07-30，B輪，金額未知，浙商創投

2014-08-20，A輪，金額未知，海林投資

25、上海艾深斯

公司成立於2019年9月，創始團隊包括歐美知名大學化學及物理學博士，團隊成員有累計近30年的光刻膠及其高純化原材料的研發生產經驗。已在上海松江建立了先進的研發實驗室與中試產線，開發出半導體芯片制造企業急需的 ArF和KrF光刻膠 產品，並獲得國內龍頭芯片制造企業的持續訂單。

融資情況：

26、蘇州潤邦半導體

公司成立於2019年06月25日，擁有三大業務板塊，分別為電子/顯示結構膠，產品包括光學級別水膠以及液晶框封膠；膠帶類膠水；半導體膠水，包括光刻膠原材料，配套材料，清洗液等關鍵材料。2023年6月30日，潤邦半導體材料科技舉行二期半導體光刻膠專案奠基儀式，建成後將具備 i-line、KrF、ArF光刻膠 及包括BARC、TARC、FIRM等輔助材料、部份上遊單體的研發和生產能力。

融資情況：

27、濰坊星泰克

建立於2010年，公司專註於光刻膠的研發、生產和銷售光刻膠。主要產品包括KrF正性光刻膠、藍寶石襯底（PSS）專用光刻膠、剝離（lift-off）光刻膠、柔性光刻膠、納米壓印光刻膠、SU-8 厚膠、BM膠等各類高端光刻膠及配套試劑，廣泛套用於LED、LCD、IC、MEMS、封裝等領域。

融資情況：

2021-04-21，戰略投資，金額未知，中信證券投資

2016-08-10，戰略投資，金額未知，山東高建立設投資集團有限公司

28、國科天驥

公司成立於2019年，其研發團隊開發了一系列以 單分子樹脂(分子玻璃)為主體材料的光刻膠 ，並可用於極紫外光刻，得到分辨率小於20納米的光刻圖案，光刻線條的關鍵指標線邊緣粗糙度可以穩定地達到 3納米以下，第一期國家專項任務已順利透過國家驗收。此外，具有自主知識產權的 主體材料經過配方設計，也可用於ArF（193納米）光刻和電子束光刻 等多種場景。電子束光刻靈敏度顯著高於市售產品，可獲得小於30納米分辨率的光刻線條。

目前，國科天驥已打通光刻膠樹脂的規模生產工藝路線。產品透過核磁、質譜鑒定及光刻測試。一期兩條生產線的光刻膠年產能達20噸，二期4條生產線光刻膠產能達120噸，將於今年年底前建設完成。

融資情況：

29、廣州微納光刻材料

公司創立於2020年，是廣東省內專業開發 90nm-28nm制程高端半導體芯片制造用193nm光刻膠及相關材料 的高科技公司，為 中芯國際、廣州粵芯公司 等客戶客製光刻膠。公司總部設立於廣州南沙區，並在珠海、上海設有研發中心和實驗室。

公司的ArF國產光刻膠研發專案始於2016年，創始人首先在珠海橫琴創立的光刻膠樹脂公司自主研發，配方在上海、北京等地的客戶生產線的ASML光刻機上（90nm、55nm、28nm）進行了大量的評估，其ArF光刻膠的關鍵技術指標，如DOF等，已超過現有頭部梯隊商用產品，在國內處於領先地位。

技術團隊 以原英特爾出身的博士為核心 ，進行光刻膠材料研發；有和博士合作多年的 日本資深光刻膠工藝技術專家 ，負責生產工藝和質素管控； 兩位原中芯國際光刻部門的光刻專家 負責曝光評估和市場策劃；核心成員在光刻膠材料開發和套用方面擁有豐富經驗；公司已選定浙江嘉興與廣東新豐工廠兩座符合安全生產標準的工廠進行代工生產，嚴格按照SPC進行生產和質素管理。

融資情況： 無

30、江蘇博硯電子

成立於2014年7月，是一家集研發，生產 TFT-LCD彩色濾光片用光刻膠 的專業廠家。公司主營產品為光刻膠（Photo Resist）,光刻膠廣泛適用於TFT-LCD液晶顯示器、印刷電路和集成電路以及印刷制版等過程。

目前，公司現有員工100人，研發人員占公司總人數40％，其中碩士及以上學歷23人， 日韓專家4人,台灣專家2人 。

目前，博硯電子公司已經完成了光刻膠（BM）的開發和中試工作，都已經實作了穩定生產，實作了正常百公斤級供貨能力。

融資情況：

2021-06-11，戰略投資，金額未知，國聯投資

2020-12-31，B輪，金額未知，錦泰金泓、金雨茂物、芯動能投資、信保佳基金、斐君資本、上海納米創投、天巽投資、毅達資本、協立投資、中信證券、納米創投、金茂資本、錦泰金泓

2019-01-25，A輪，金額未知，金茂資本、金雨茂物、羽昱創投、信保佳基金、上海新陽

2016-06-20，天使輪，金額未知，辰韜資本

31、北京鼎材科技

鼎材科技是一家從事新型電子材料研發、生產、銷售和技術服務的高科技企業，致力於光電領域新材料產品技術開發和創新。在主營產品OLED有機發光材料及 彩色光刻膠 材料方面處於業內領先地位。

融資情況：

32、理碩科技

成立於2019年9月，是一家從事平板顯視器和半導體芯片用光刻膠及光刻工藝材料研發和生產的高科技企業。

融資情況：

33、迪道微電子

公司創立於2020年，研發和營運中心坐落於深圳市光明區，產品聚焦在半導體和平板顯示光刻制程領域，主要有半導體清洗劑、平板顯示光刻膠以及半導體光刻膠（i、g、KrF、ArF）。

融資情況：

34、深圳道爾頓

成立於2011年，是專業從事LCD和CTP專用電子材料研發、生產和銷售的國家級高新技術企業，目前量產的液晶取向劑(PI)/絕緣液(TOP)/光刻膠(PR)等產品。

融資情況： 無

35、湖南初源新材料

公司長期專註於感光材料及專用電子化學品研發、生產、銷售、技術服務，在湖南、江西、廣東、江蘇等地設有研發實驗室、生產基地、銷售分公司及技術服務中心。公司主導產品為幹膜光刻膠，為多家全球TOP10的PCB企業與國內主要PCB上市企業提供產品與服務。

2023年11月07日，公司向湖南證監局申請輔導備案。

融資情況：

36、珦盛新材料

珦盛新材料（珠海）有限公司 整合了一批來自日本、北美和國內在光刻材料領域擁有20多年 的研發、生產、市場和銷售具有豐富經驗的技術和營運專家，全面致力於光刻材料（光刻膠）領域，針對印刷電路板、顯示面板、半導體芯片光刻材料進行創新型研發和批次生產。公司擁有國際領先的超級納米復合材料技術，套用到一系列光刻膠產品中，這項技術已經大大地提高了公司推出的PCB板和FPC的幹膜光刻膠性價比和競爭力, 同時幫助公司在顯示面板領域開發出各種高效能的光刻材料， 繼而推動開辟用於半導體DUV和EUV光刻的新型納米材料材料的開發，解決國家在光刻領域急需的「卡脖子」技術的難題。

融資情況：

37、威邁芯材

成立於2021年，公司專註於研發生產 半導體高端ArF/KrF光刻膠主材料 ，包括光致產酸劑PAG、光引發劑PI、BARC層樹脂Resin、電子材料核心單體等，同時也提供每個最終產品的中間體。

目前，除了穩定供貨給 南韓、日本和其他地區 領先的光刻膠公司和電子材料公司外，當前已有 數十余款半導體ArF/KrF PAG產品已經供貨給中國多家半導體光刻膠龍頭企業 。

融資資訊：

38、微芯新材

成立於2018年07月18日，公司定位於從事半導體電子級產品研究、生產、銷售。公司擁有對乙酰氧基苯乙烯（pACS）的自主知識產權，擁有多項 光刻膠單體和溶劑 的專利技術，廣泛套用於半導體電子級產品領域。

微芯新材已成為國內為數不多可以批次化生產KrF光刻膠單體、並擁有樹脂批次化產線的原材料生產企業，產品已獲得國際大廠認證，並已實作商業化出貨。據久日新材2023年上半年報告顯示，微芯新材報告期內 實作營業收入2178.16萬元，實作凈利潤266.83萬元 。

融資情況：

39、河北凱諾中星

公司主要從事開發及生產各種類別的電子資訊新材料、功能性精細化學品，包括大規模集成電路、芯片等制造的光刻膠樹脂單體、光致產酸劑、添加劑及各類配套試劑，如顯影液、漂洗液、清洗液、剝離液、刻蝕液等超凈高純電子化學品試劑，擁有多家國際巨頭客戶。

融資情況：

40青島靖帆新材料： 感光材料、光刻膠用光敏劑、光刻膠用樹脂及單體、光刻膠用染料、光刻膠用交聯劑等

41、陜西致知博約光電： 電子級別和光學級別用膠黏劑、光刻膠原材料、聚酰亞胺材料、配套制程材料、清洗液

42、江蘇至昕新材料： 特種矽油、矽樹脂、矽烷、光刻膠抗反射塗層、高低K值介電材料、離子註入氣體、熱管理材料、壓敏膠、離型劑、膠粘劑和矽凝膠等

43、芯越微電子材料（嘉興）： 光刻膠剝離液、顯影液、清洗劑、蝕刻灰化後清洗液、CMP拋光液

44、萬思得新材料科技(中山)： millbase色漿、特種感光樹脂、MB光阻、彩色光阻及光刻膠配套材料

三、光刻膠怎麽投

光刻膠是光刻工藝中最核心的耗材，其效能決定著光刻質素。全球市場規模約為92億美元，其中 KrF、ArF光刻膠 的市場占比最高。

行業特點：依賴穩定供給+長期經驗

光刻膠的生產，在工藝技術、測試器材和下遊認證等環節均存在較高壁壘：

① 研發需要配方和經驗的長期積累，且難以透過現有產品反向解構出配方；

② 依賴原材料及器材的穩定供給，需要對應制程的光刻機配套，資本投入極大；

③ 穩定性對下遊晶圓廠極為重要，從實驗室產品到量產，每批次光刻膠產品效能都必須實作穩定一致；

④ 客戶黏性極強，甚至會上下遊合作開發新品，客製化程度高，產品替代驗證的時間成本極高，驗證周期長達12個月以上。

重點領域：高端光刻膠替代空間廣闊

分辨率、對比度、敏感度等是光刻膠的核心技術參數。隨著未來市場對芯片小型化需求的發展， 光刻膠將進一步朝著高分辨率、高對比度、高敏感度等方向發展 。

目前，高端光刻膠大量生產專利在海外，國內優秀龍頭公司正積極布局，尋求突破。適用於6英寸矽片的g線、i線光刻膠，國內自給率約為10%；適用於8英寸矽片的KrF光刻膠，自給率不足5%；適用於12寸矽片的ArF光刻膠基本依靠進口，而EUV光刻膠仍處研發階段。

贏家畫像：具備三種能力更易跑出

在光刻膠領域，技術、器材和客戶壁壘決定了，新進入者較難與現有企業競爭。認為，具備以下能力的廠商更容易在一級市場跑出：

① 穿透技術壁壘，如收並購國外公司產線、專利、配方及器材的企業；且掌握多種產品矩陣，能提供一攬子光刻膠產品的企業更受下遊客戶青睞；