气体纯度表示通常有两类。
对化学家来说，一般用99％、99.9％、99.99％、99.999％、99.9999％、99.99999％、99.999999％等纯度表示。那么其余1％、0.1％、0.01％、0.001％、0.0001%、0.00001%、0.000001％为杂质。
物理学家根据上述几个「9」的说法采用简便的方法，即n个「9」的说法。如上面的纯度可以分别写成2N、3N、4N、5N、6N、7N、8N。如写成4N8或5N5，这时纯度分别为99.998％和99.9995％；如果写成5N85，则纯度为99.99985％。
关于杂质含量有常量、微量和痕量表示，对于低于微量和痕量杂质一般指ppm～ppb级范围。具体的杂质浓度是：lppm=10-4％; 1ppb=10-7％; 1ppt＝10-10％。
气体中的杂质分类：气体中的杂质按化学性质分类有氧化性质气体(如氧、二氧化碳、水)、还原性质气体(如氢、一氧化碳)和不活泼性气体或惰性气体(如氮、氩、氦)。如果杂质按形态分，杂质有气态杂质(如氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氢)、液态气体杂质(如水)和固态气体杂质(如颗粒或尘埃)。
