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深圳:围绕晶圆制造装备、高档数控机床等力争实现「从0到1」的突破 解决尖端技术「卡脖子」问题

2024-03-29科学

【深圳:围绕晶圆制造装备、高档数控机床等力争实现「从0到1」的突破 解决尖端技术「卡脖子」问题】财联社3月26日电,深圳市工业和信息化局、科技创新局、财政局联合发布【深圳市关于推动高端装备产业集群高质量发展的若干措施】。其中提出,突破重大装备技术。围绕晶圆制造装备、面板制造前段制程装备,以及具备战略意义的高档数控机床、精密仪器设备、海洋工程装备等,力争实现「从0到1」的突破,解决尖端技术「卡脖子」问题。实施重大战略性原创性项目攻关计划。围绕薄膜沉积设备、离子注入机、薄膜量测设备等晶圆制造设备;曝光机等面板制造前、中道制程设备;超精密数控车床、铣床、磨床和复合加工机床;高端电子测试仪器、几何量测仪器、科学实验仪器;重大深海采矿装备等整机和核心零部件,开展重大技术装备攻关项目,按比例最高给予3000万元资助。