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安泰科技獲得發明專利授權:「一種鉬合金管靶材及其制備方法和用途」

2024-02-14科技

證券之星訊息,根據企查查數據顯示安泰科技(000969)新獲得一項發明專利授權,專利名為「一種鉬合金管靶材及其制備方法和用途」,專利申請號為CN202210567605.3,授權日為2024年2月13日。

專利摘要:本申請提供一種鉬合金管靶材及其制備方法和用途,屬於粉末冶金技術領域。該靶材以品質百分比計,包括Ni:10~30%,Ti:5~25%,W:1~20%,Re:0.5~5%,M:0?15%,M為Cr、Zr、Ta、Nb中的至少一種,其中M用於替代部份Ti,余量為Mo和不可避免的雜質,Mo在鉬合金管靶材中的品質百分比含量不低於50%,經冷等靜壓成型、包套、熱等靜壓、擠壓成型、退火等工序制備而成。本申請提供的靶材塑韌性好,變形能力較好,晶粒細小均勻。用本申請制備的靶材濺射沈積的薄膜的厚度分布更均勻,可透過濺射方式附著在電子部件用層疊配線膜的主導電層上形成金屬覆蓋層,用於平面顯視器、薄膜太陽能和半導體裝置等。

今年以來安泰科技新獲得專利授權12個,較去年同期增加了71.43%。結合公司2023年中報財務數據,2023上半年公司在研發方面投入了2.41億元,同比增41.19%。

數據來源:企查查

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